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激光橢偏測厚儀器

最后更新：2010-12-22
關注度：5823
生產(chǎn)企業(yè)：北京創(chuàng)盈達科技有限公司

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產(chǎn)品詳細介紹

【所屬類別】光學測量產(chǎn)品　　激光橢偏測厚儀器

【產(chǎn)品簡介】

HST-1/3多功能橢偏測厚儀器是我公司最近推出的教學科研儀器系列產(chǎn)品之一，主要用于固體表面納米級薄膜厚度和折射率、金屬的復折射率。此外，還可以用于研究固體表面及其膜層的光學特性，在半導體、金屬材料、光學、化學、生物學及醫(yī)學領域有廣泛的應用。

特點：

      使用方便，簡單；
      測量精度可達±0.5nm和±0.01;
      全自動化，電腦操作，性價比高；

【技術參數(shù)】

    測量薄膜厚度范圍：1～300nm（70°入射角，一個周期），折射率范圍：05～2.50；
    起偏角 P 和 A 的讀取分辨為0.05°，范圍0～180°；
    測量膜厚和折射率重復性精度分別為±0.5nm和±0.01;
    入射角連續(xù)調(diào)節(jié)范圍：30°～90°；
    入射光波長：635.0nm;
    樣品真空吸附裝置且可一維掃描（選件）。

【產(chǎn)品方案】

　　橢圓偏振法簡稱橢偏法，是一種先進的測量薄膜納米級厚度的方法。橢偏法的基本原理由于數(shù)學處理的困難，直到本世紀40年代計算機出現(xiàn)以后才發(fā)展起來。橢偏法的測量經(jīng)過幾十年來的不斷改進，已從手動進入到全自動、變?nèi)肷浣�、變波長和實時監(jiān)測，極大地促進了納米技術的發(fā)展。橢偏法的測量精度很高（比一般的干涉法高一至二個數(shù)量級），測量靈敏度也很高（可探測生長中的薄膜小于0.1nm的厚度變化）。利用橢偏法可以測量薄膜的厚度和折射率，也可以測定材料的吸收系數(shù)或金屬的復折射率等光學參數(shù)。因此，橢偏法在半導體材料、光學、化學、生物學和醫(yī)學等領域有著廣泛的應用。

　　系統(tǒng)連接結構示意圖