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產(chǎn)品型號：500*500
產(chǎn)品代碼：
產(chǎn)品價格：11999
計量單位：臺
折 扣 率： 0
最后更新：2014-07-02
關(guān) 注 度：3423
生產(chǎn)企業(yè)：北京微納通科技有限公司
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產(chǎn)品詳細介紹ABL9000氣浮平臺
1世上最高性能的氣浮平臺,適用于晶片,平板顯示,光學(xué)檢測和加工等要求苛刻的場合
2所有軸全預(yù)加負載氣浮導(dǎo)軌（空氣軸承）
3行程達1.2米X1.2米
4Y軸雙直線電機驅(qū)動
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
6主動控制偏轉(zhuǎn)
行程≤1200mm
精度±0.50um
重復(fù)定位精度±0.10um
直線度±0.50um
平面度±0.50u |
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| 會員級別：免費會員 |
| 加入時間：2014-07-01
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