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產(chǎn)品型號：200
產(chǎn)品代碼：
產(chǎn)品價格：9999
計量單位：臺
折 扣 率： 0
最后更新：2014-07-02
關(guān) 注 度：4078
生產(chǎn)企業(yè)：北京微納通科技有限公司
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產(chǎn)品詳細(xì)介紹ABL2000氣浮平臺
1專為晶片成像/缺陷探測/涂覆應(yīng)用設(shè)計
2運動超平滑,速度穩(wěn)定性突出
3直線編碼器或激光干涉儀反饋
4行程達(dá)1.2米
5全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌（空氣軸承）
6全部非接觸設(shè)計
行程≤1200mm
精度±0.50um
重復(fù)定位精度±0.20um
直線度±0.25um
平面度±0.25um |
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| 會員級別：免費會員 |
| 加入時間：2014-07-01
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